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精密平面拋光機誤差模型研究
作者:管理員    發布于:2018-12-06 20:09:54    文字:【】【】【
摘要:精密平面拋光機誤差模型研究

      大口徑平面光學元件作為空間光學系統、極紫外光刻系統、大型激光聚變系統等現代復雜光學系統的關鍵器件,其超精密制造技術是目前國際光學加工領域的前沿研究方向之一。為滿足加工表面的勻滑性和完整性,并提高加工效率,該類元件最理想的加工方式是全口徑拋光,常見平面拋光機床有單軸拋光機、雙面拋光機、大型環拋機等。目前針對全口徑拋光加工精度的大量研究一切主要集中于拋光模材料、拋光模修整方法、拋光壓力或速度、運動軌跡等工藝因素方面,對于機床機械精度對元件加工精度影響的研究則相對較少。這主要是由于傳統的拋光機床本身為非精密機床,機械精度較低(通常為數十微米量級甚至更大),元件加工精度的控制主要強調工藝經驗的積累和總結。然而,隨著各類光學系統對平面元件的加工精度及效率要求越來越高,為了提高工件加工的確定性及可靠性,采用高精度數控加工機床替代傳統光學設備已是國際先進光學制造技術領域發展的必然趨勢。
     與傳統光學加工設備不同,新型超精密數控光學加工機床主要基于機械精度傳遞和工藝參數數字化控制,因此元件的加工精度與機床本身的機械精度密切相關。本文詳細研究了大口徑平面光學元件精密平面拋光機誤差對于元件加工精度的影響規律,確定了影響元件精度的機床敏感誤差源,并建立了基于多體系統理論的機床精度模型,對于改進機床設計、合理分配部件精度指標及優化元件加工工藝具有重要意義。

結語



   分析了精密平面拋光機的加工原理,并推導了修整器幾何參數對元件加工精度的影響關系。分析表明,修整器軸線偏角a對拋光盤球面半徑及光學元件面形精度的影響最為顯著。以KPJ1100型平面快拋機為例,在對機床幾何誤差源進行分析的基礎上,基于多體高精密微銃削再生顫振穩定域影響機制研究.
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